傳統(tǒng)移相干涉儀使用壓電元件等移動(dòng)參考平面來(lái)獲取干涉條紋的圖像，并計(jì)算相位分布。這種方法的缺點(diǎn)是單次測(cè)量至少需要100 毫秒，期間干涉儀與測(cè)量樣品之間會(huì)發(fā)生相對(duì)振動(dòng)和空氣波動(dòng)，導(dǎo)致干涉條紋發(fā)生波動(dòng)，從而增加測(cè)量誤差。為了解決這些問(wèn)題，DI 100 動(dòng)態(tài)干涉儀采用了“動(dòng)態(tài)干涉測(cè)量”技術(shù)，無(wú)需機(jī)械移動(dòng)參考平面，一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對(duì)相機(jī)的每個(gè)像素進(jìn)行相移，可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù)，并且由于一次測(cè)量的時(shí)間可以縮短到 30 微秒，因此可以在干涉圖像因振動(dòng)等而發(fā)生變化之前的瞬間進(jìn)行測(cè)量

i3D 系列產(chǎn)品是非接觸式光學(xué)面形檢測(cè)設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)對(duì)稱光學(xué)元件3D形貌的超精密、高速測(cè)量。適用于透明與非透明、光滑與粗糙等多種表面類型的檢測(cè)分析。

OptoFlat? 高精度低相干干涉儀是行業(yè)內(nèi)獨(dú)有的低成本、高穩(wěn)定性以及結(jié)構(gòu)緊湊的平面專用低相干干涉儀。其采用低相干性長(zhǎng)壽命633nm的LED光源，波長(zhǎng)帶寬1nm。在測(cè)量透明材質(zhì)的雙面平行光學(xué)元件的單個(gè)表面面型時(shí)不會(huì)受到其他表面的干涉條紋影響，所以O(shè)ptoFlat可以排除來(lái)自多個(gè)表面的干擾，直接測(cè)得目標(biāo)表面的面型精度。對(duì)于測(cè)量實(shí)心玻璃棱鏡的前表面面型時(shí)也可以抑制其他反射面的影響。

*用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)

*適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)

*鏡頭口徑：50mm、100mm或150mm