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德國(guó)全歐光學(xué)TRIOPTICS 設(shè)計(jì)、生產(chǎn)的OptiSurf®鏡面定位儀 為用于高精度地測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)元件中心厚度和空氣間隔；OptiSurf®鏡面定位儀基于低相干干涉原理，采用非接觸式測(cè)量，是光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)中檢測(cè)和控制空氣間隔最理想的工具。
產(chǎn)品應(yīng)用
*非接觸式測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)中光學(xué)元件中心厚度和空氣間隔
產(chǎn)品參數(shù)
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產(chǎn)品型號(hào) |
OptiSurf® |
OptiSurf® UP |
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測(cè)量波長(zhǎng) |
1310nm |
1310nm |
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測(cè)量精度? |
±1μm |
±0.15μm |
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重復(fù)精度 |
±0.5μm |
±0.075μm |
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測(cè)量范圍? |
400mm / 600mm / 800mm光程 |
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測(cè)量速度 |
15秒/100mm |
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溫度及氣壓傳感器 |
選配 |
標(biāo)配 |
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| 光軸調(diào)整工具 |
選配 |
選配 |
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? 2σ測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)空氣間隔
? 最小可測(cè)量間隔35μm
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